[发明专利]一种降低高温下大型真空室本底漏率装置

权利要求书

1.一种降低高温下大型真空室本底漏率装置，其特征在于：包括干泵(2)、反应炉(5)、吸气剂材料(7)、分子泵(11)、液氮换热器(14)，干泵(2)、反应炉(5)、液氮换热器(14)安装在箱体的内部，干泵(2)固定安装在箱体内的底部，干泵(2)、反应炉(5)、液氮换热器(14)通过管道并联连接；进气口(18)一端伸出箱体，另一端连接在液氮换热器(14)的管路上；出气口(20)同时与液氮换热器(14)的管路、反应炉(5)的管路连接；干泵(2)用于对除氢系统的整体管道进行排气并达到低真空；反应炉(5)作为气体的反应容器，其内部设有吸气剂材料(7)；液氮换热器(14)与热氦检漏设备中出来的高温气体进行热交换，降低高温气体温度；

所述干泵(2)连接有高真空挡板阀A(3)，能够实现干泵(2)的启停；高真空挡板阀A(3)与三通管路连接，三通管路一端连接有皮拉尼规A(4)，另一端与第二个三通管路连接；第二个三通管路的一端连接有高真空挡板阀B(9)，另一端与第三个三通管路连接；第三个三通管路的一端连接有高真空挡板阀F(21)，另一端连接有高真空挡板阀G(22)；高真空挡板阀B(9)的另一端与第四个三通管路连接，第四个三通管路的一端与分子泵(11)连接，另一端连接有高真空挡板阀C(10)；反应炉(5)安装在高真空挡板阀C(10)和高真空挡板阀G(22)之间；分子泵(11)的另一端与液氮换热器(14)连接，其连接管路上设有皮拉尼规B(12)，液氮换热器(14)的另一端连接有高真空挡板阀D(17)；高真空挡板阀F(21)与第五个三通管路连接，第五个三通管路的一端连接有高真空挡板阀E(19)，另一端与出气口(20)连接，出气口与氦质谱检漏仪连接；高真空挡板阀D(17)与高真空挡板阀E(19)之间设有第六个三通管路，第六个三通管路的另一端与进气口(18)连接，进气口(18)与热氦检漏设备上的分子泵连接。

2.根据权利要求1所述的一种降低高温下大型真空室本底漏率装置，其特征在于：所述反应炉(5)内部设有加热丝(6)，用于对反应炉(5)中吸气剂材料(7)进行加热，使吸气剂材料(7)达到指定温度。

3.根据权利要求1所述的一种降低高温下大型真空室本底漏率装置，其特征在于：所述反应炉(5)内部设有过滤网(8)，用于防止吸气剂材料(7)进入真空管道。

4.根据权利要求3所述的一种降低高温下大型真空室本底漏率装置，其特征在于：所述液氮换热器(14)一端连接有分子泵(11)，用于对除氢系统的整体管道进行排气并达到高真空。

5.根据权利要求1所述的一种降低高温下大型真空室本底漏率装置，其特征在于：所述皮拉尼规A(4)和皮拉尼规B(12)，用于显示内部管道实时真空度。

6.根据权利要求1所述的一种降低高温下大型真空室本底漏率装置，其特征在于：所述液氮换热器(14)的两端分别安装有热电偶A(13)、热电偶C(16)，反应炉(5)上安装有热电偶B(15)。