[发明专利]钝化接触结构及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种钝化接触结构，属于太阳能电池领域，它包括有衬底，所述衬底的一个表面或两个表面上依次集成有碳氧化硅钝化层和掺杂多晶硅层。本发明实施例提供了一种钝化接触结构，其采用碳氧化硅钝化层替代现有的超薄氧化层，碳氧化硅钝化层中由于碳元素的加入，会调节碳氧化硅钝化层薄膜的膨胀系数，提高其稳定性，保证其完整性；本发明实施例还提供了一种钝化接触结构的制备方法，其采用碳氧化硅钝化层替代现有的超薄氧化层，在长时间高温条件下，碳氧化硅钝化层界面处的氢不易向外释放，掺杂多晶硅中的掺杂原子不会过度扩散；本发明实施例还提供了一种钝化接触结构的应用，应用于太阳能电池，提高电池效率。