[发明专利]信息处理装置和信息处理方法在审
| 申请号： | 202110465883.3 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN113568276A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 滝口贵裕;北健太 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了信息处理装置和信息处理方法。信息处理装置包括：获取单元，被配置为获取关于基板处理的处理信息，处理信息包括处理数据和处理条件；以及显示控制单元，被配置为基于由获取单元获取的处理信息来控制显示装置上的显示，其中，显示控制单元在显示装置上选择性地显示第一画面和第二画面，第一画面逐批次地显示包括多个基板的批次的处理数据，第二画面逐基板地显示第一批次的处理数据，第一批次是由用户从第一画面上显示的批次中指定的批次。 | ||
| 搜索关键词： | 信息处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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