[发明专利]信息处理装置和信息处理方法

说明书

公开了信息处理装置和信息处理方法。信息处理装置包括：获取单元，被配置为获取关于基板处理的处理信息，处理信息包括处理数据和处理条件；以及显示控制单元，被配置为基于由获取单元获取的处理信息来控制显示装置上的显示，其中，显示控制单元在显示装置上选择性地显示第一画面和第二画面，第一画面逐批次地显示包括多个基板的批次的处理数据，第二画面逐基板地显示第一批次的处理数据，第一批次是由用户从第一画面上显示的批次中指定的批次。

技术领域

本发明涉及信息处理装置和信息处理方法。

背景技术

在半导体制造工厂中，通常安装用于曝光基板的诸如半导体曝光装置之类的半导体制造装置，并且基板将被有效地处理同时检查每个装置的操作状况。另外，在半导体制造装置中出现故障的情况下，将迅速地执行用于克服故障的操作。

日本专利申请公开No.2009-170612讨论了一种用于检测半导体制造装置中的故障的技术。具体地，半导体制造装置的处理结果以各自包括多个基板的批次为单位进行统计处理，并且统计处理的结果被显示为图表。这使用户容易立即标识已出现故障的批次。

根据基于各自包括多个基板的批次而显示的图表，当差异产生时，用户可以识别批次间的差异，但用户难以立即确定差异的原因。用户需要根据以批次的晶片为单位的数据来确定批次间的差异的原因。除非用户收集数据并分析数据，否则用户不能确定批次间的差异的原因，并且克服故障要花费大量的时间。

发明内容

根据本发明的一个方面，一种信息处理装置包括：获取单元，被配置为获取关于基板处理的处理信息，处理信息包括处理数据和处理条件；以及显示控制单元，被配置为基于由获取单元获取的处理信息来控制显示装置上的显示，其中，显示控制单元被配置为在显示装置上选择性地显示第一画面和第二画面，第一画面逐批次地显示包括多个基板的批次的处理数据，第二画面逐基板地显示第一批次的处理数据，第一批次是由用户从第一画面上显示的批次中指定的批次。

根据以下参考附图对实施例的描述，本发明的其它特征将变得清楚。

附图说明

图1是图示物品制造系统的图。

图2是图示作为图案形成装置的示例的曝光装置的图。

图3是图示信息处理装置的硬件配置的图。

图4是图示管理装置的中央处理单元(CPU)的配置的图。

图5是图示显示装置的显示处理的流程图。

图6是图示根据第一实施例的批次数据的显示的图。

图7是图示根据第一实施例的处理数据的显示的图。

图8是图示指定批次的处理条件被突出显示的显示的图。

图9是图示同一画面上显示的批次数据和处理数据的图。

图10是图示根据第二实施例的批次数据的显示的图。

图11是图示根据第二实施例的处理数据的显示的图。

图12是图示根据第三实施例的批次数据的显示的图。

图13是图示根据第三实施例的处理数据的显示的图。

具体实施方式

以下将参考附图来详细地描述本发明的各种实施例。