[发明专利]一种平面单位移驱动的双稳态MEMS开关有效
| 申请号： | 202110463726.9 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113130259B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 唐彬;陶启;兰泽华;代俊;王晓红;廖运来;唐自励 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 张保朝 |
| 地址： | 621999*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平面单位移驱动的双稳态MEMS开关，该双稳态MEMS开关包括衬底、固定端、弹性梁和T型触发执行器，其中固定端包括第一固定端、第二固定端和第三固定端；弹性梁包括两个L型弹性梁和两个V型弹性梁。本发明公开的双稳态MEMS开关通过位移驱动装置驱动T型触发执行器，利用弹性梁的形变和位移实现电路通电与断电。本发明公开的平面单位移驱动的双稳态MEMS开关，输入驱动少，结构简单，容易控制，响应速度快，具备自锁功能，可靠性高，本发明的双稳态MEMS开关可用于电路开关也可作为位移开关，通用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 位移 驱动 双稳态 mems 开关 | ||
【主权项】：
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