[发明专利]一种厚度的测量方法及其装置有效
| 申请号： | 202110462252.6 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113310442B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 吴正利;王莹飞;李漪;魏强民 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 高洁;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例公开了一种厚度的测量方法及其装置。所述厚度的测量方法包括：提供待测量结构，所述待测量结构包括依次分布的第一非目标层、目标层和第二非目标层，所述目标层包括与所述第一非目标层接触的第一子目标层和与所述第二非目标层接触的第二子目标层；生成所述待测量结构的电子能量损失谱，所述电子能量损失谱包括所述第一非目标层、所述第一子目标层、所述第二子目标层和所述第二非目标层对应的能量损失曲线；根据所述电子能量损失谱，选取检测能量损失位置和检测能量损失窗口作为检测参数；使用所述检测参数对所述待测量结构进行检测，以得到所述待测量结构的图像；根据所述待测量结构的图像，测量所述目标层的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 厚度 测量方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司，未经长江存储科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110462252.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
