[发明专利]基于卷积神经网络的外延层生长状态判断方法及装置在审
| 申请号： | 202110461440.7 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113255729A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 倪健;许翔;薛聪 | 申请（专利权）人： | 埃特曼（北京）半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/62 | 分类号： | G06K9/62;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 杨明莉 |
| 地址： | 101300 北京市顺*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于卷积神经网络的外延层生长状态判断方法及装置，所述判断方法包括：获取外延层不同生长状态下的实时二维图像；基于所述二维图像获取训练样本对预先建立的初始卷积神经网络模型进行训练，以获取卷积神经网络模型；根据所述卷积神经网络模型获取所述二维图像对应的输出概率向量，以根据所述概率向量判断所述外延层的生长状态，使用卷积神经网络模型代替人工，对分子束外延生长过程的二维图像进行定量和定性的分析，快速准确地判断外延层生长状态，提高外延层生长状态的效率和精准度，实现真正意义上的实时分析。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 卷积 神经网络 外延 生长 状态 判断 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于埃特曼（北京）半导体技术有限公司，未经埃特曼（北京）半导体技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110461440.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
