[发明专利]一种光刻机运动台反力抵消装置在审
| 申请号： | 202110450769.3 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113176714A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 张俊杰 | 申请（专利权）人： | 上海图双精密装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人： | 宋振宇 |
| 地址： | 201712 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机运动台反力抵消装置，包括机体；所述机体主要由外壳、底座和运动台组成，所述运动台底端通过螺栓固定安装在底座上侧，所述运动台主要由放置板和底板组成，所述放置板位于底板上侧，所述放置板和底板之间设置有软连接件，所述放置板和底板之间四周设置有减震组件，所述减震组件主要由插杆和插筒组成，所述插杆上端通过螺栓固定安装在放置板底端，所述插杆底端插入插筒内部，所述插筒内部位于插杆底端位置设置有弹簧，所述弹簧底端焊接在插筒内部底端。本发明在使用的过程中，减震组件能够对运动台的反力进行抵消，运动台在受力的过程中，减震组件内部的弹簧将会受到压力进行收缩，对压力进行缓冲。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机运 动台反力 抵消 装置 | ||
【主权项】：
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