[发明专利]一种光刻机运动台反力抵消装置

权利要求书

1.一种光刻机运动台反力抵消装置，包括机体(1)；其特征在于：所述机体(1)主要由外壳(3)、底座(5)和运动台(4)组成，所述外壳(3)位于底座(5)上侧，所述外壳(3)底端通过螺栓固定安装在底座(5)上侧，所述运动台(4)位于外壳(3)内部，所述运动台(4)底端通过螺栓固定安装在底座(5)上侧，所述运动台(4)主要由放置板(6)和底板(7)组成，所述放置板(6)位于底板(7)上侧，所述放置板(6)和底板(7)之间设置有软连接件(8)，所述软连接件(8)两端通过粘合胶粘贴在放置板(6)底端和底板(7)上侧位置，所述放置板(6)和底板(7)之间四周设置有减震组件(10)，所述减震组件(10)主要由插杆(11)和插筒(16)组成，所述插杆(11)上端通过螺栓固定安装在放置板(6)底端，所述插筒(16)底端通过螺栓固定安装在底板(7)上端，所述插杆(11)底端插入插筒(16)内部，所述插筒(16)内部位于插杆(11)底端位置设置有弹簧(13)，所述弹簧(13)底端焊接在插筒(16)内部底端。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机运动台反力抵消装置，其特征在于：所述插杆(11)底端设置有限位板(12)，且限位板(12)上端焊接在插杆(11)底端位置。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机运动台反力抵消装置，其特征在于：所述插杆(11)底端设置有阻尼套(15)，且阻尼套(15)焊接在插杆(11)底端位置。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机运动台反力抵消装置，其特征在于：所述插筒(16)内部位于弹簧(13)底端位置设置有支柱(14)，且支柱(14)底端焊接在插筒(16)内部底端位置。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机运动台反力抵消装置，其特征在于：所述底板(7)底端设置有软金属垫(9)，且软金属垫(9)上端焊接在底板(7)底端位置。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机运动台反力抵消装置，其特征在于：所述外壳(3)内部设置有自洁层(2)，且自洁层(2)设置为纳米硅涂料层。