[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体在审
申请号: | 202110449448.1 | 申请日: | 2021-04-25 |
公开(公告)号: | CN113567708A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 田中悟 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01P15/125 | 分类号: | G01P15/125 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 赵曦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请涉及物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器具有:可动体,绕摆动轴摆动;以及检测电极,与可动体相对配置。基板具有第一区域至第m区域,检测电极跨第一区域至第n区域而配置。当设定了连接检测电极在第一区域至第n区域各区域上的端部中的两个端部的虚拟直线中与X轴方向所成的角最小的第一虚拟直线以及在可动体绕摆动轴进行了最大位移的状态下沿可动体在基板一侧的主面的第二虚拟直线时,在与第一区域的端部相交且在Z轴方向上延伸的第一法线和与第n区域的端部相交且在Z轴方向上延伸的第二法线之间的区域中,第一虚拟直线与第二虚拟直线不交叉。 | ||
搜索关键词: | 物理量 传感器 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】:
暂无信息
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