[发明专利]抛光头检测装置、腔室气密性和传感器有效性检测方法有效
| 申请号： | 202110448856.5 | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN112847138B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 朱政挺;杨渊思 | 申请（专利权）人： | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/00 | 分类号： | B24B49/00;B24B29/02;G01M3/26;G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 刘翠香 |
| 地址： | 311305 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了抛光头检测装置，其基座上具有气路控制部件，且抛光头连接部件具有多个连通抛光头中的所有腔室的通孔，气路控制部件的输出管路一一对应地连通至通孔，且每个输出管路中均包括气路开关和压力检测传感器，气路开关用于控制其所在的输出管路的开和关，压力检测传感器用于检测对应抛光头的腔室内的气体压力，气路控制部件内还具有压力调节部件，其通过同一条主通路与每一个输出管路相连，并通过输出管路用于输出预设气压至对应腔室。基于上述装置，本申请还公开了腔室气密性和传感器有效性检测方法，能同时给抛光头每个腔室加压，传感器可实时监测每个腔室的压力，同时检测每个腔室气密性和传感器有效性，检测效率高，节约检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 检测 装置 气密性 传感器 有效性 方法 | ||
【主权项】：
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