[发明专利]一种光学镀膜压入装置有效
| 申请号： | 202110448830.0 | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN113355642B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 谢微;李晨 | 申请（专利权）人： | 江苏微纳光膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 南京禹为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32272 | 代理人： | 王晓东 |
| 地址： | 221400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学镀膜压入装置，包括，腔室组件，包括由真空罩与底座形成的真空腔室；溅射组件，设于真空腔室内，包括由若干磁控射枪，靶材和偏置磁场；定位组件，包括设于真空腔室内的夹持部件，以及驱动夹持部件调整方向的调向部件，夹持部件包括至少两个夹持件，夹持件形成夹持区域，夹持部件与调向部件连接。本发明提供的光学镀膜压入装置，通过在真空腔室中设置同时具有夹持和调向功能的定位组件，实现了带镀膜材料的多方位调节，满足复杂形状的镀膜要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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