[发明专利]一种光学镀膜压入装置

权利要求书

1.一种光学镀膜压入装置，其特征在于：包括，

腔室组件(100)，包括由真空罩(120)与底座形成的真空腔室(110)；

溅射组件，设于所述真空腔室(110)内，包括由若干磁控射枪(210)，靶材和偏置磁场(220)；

定位组件，包括设于所述真空腔室(110)内的夹持部件(300)，以及驱动所述夹持部件(300)调整方向的调向部件(400)，所述夹持部件(300)包括至少两个夹持件(320)，所述夹持件(320)形成夹持区域，所述夹持部件(300)与所述调向部件(400)连接；

所述夹持部件(300)设于所述偏置磁场(220)中央，所述定位组件与所述偏置磁场(220)之间设有挡板(130)，所述挡板(130)中间留有针对所述夹持区域的通孔(131)；

所述夹持部件(300)包括同步驱动件(310)，所述夹持件(320)活动设置于所述同步驱动件(310)上，所述同步驱动件(310)带动所述夹持件(320)向所述夹持区域中心靠近或远离；

所述同步驱动件(310)包括环形驱动盘(311)，且所述环形驱动盘(311)上设有驱动螺纹(311a)，所述夹持件(320)通过滑动块(312)设于所述环形驱动盘(311)上，所述滑动块(312)上形成有若干与所述驱动螺纹(311a)适配的滑槽(312a)；所述环形驱动盘(311)转动后，驱动所述滑动块(312)沿径向直线移动；

所述夹持件(320)沿着所述环形驱动盘分布有至少三个，其中至少一个所述夹持件(320)上设有固定卡接器(322)，至少一个所述夹持件(320)上设有活动卡接器(321)，所述活动卡接器(321)通过螺栓转动连接在所述夹持件(320)上，所述固定卡接器(322)与所述活动卡接器(321)上均设有卡接口；

所述夹持部件(300)还包括导向套(330)，同步驱动件(310)与所述夹持件(320)均设于所述导向套(330)内，所述导向套(330)沿径向开设有导向通道(331)，所述滑动块(312)侧壁上设有与所述导向通道(331)适配的导向体(312b)；

所述调向部件(400)包括，

调向架(410)，固定设于所述真空腔室(110)内；

调向臂(420)，转动设于所述调向架(410)上，一端与所述夹持部件(300)连接；

摇摆驱动件(430)，固定连接于所述调向架(410)上，与所述调向臂(420)的一端连接，驱动所述调向臂(420)摆动；

所述调向架(410)上设有摆动座，所述调向臂(420)上设有球型关节，所述球型关节转动设于摆动座中；所述调向臂(420)的一端设有安装卡爪(422)，所述夹持部件(300)可拆卸连接在所述卡爪上；

所述摇摆驱动件(430)包括摆动臂(431)和转动轴(432)，所述摆动臂(431)的包括连接于所述转动轴(432)的驱动端(431a)，和套设于所述调向臂(420)的转动端(431b)，所述驱动端(431a)和所述转动端(431b)之间设有伸缩结构(431c)；

所述调向臂(420)、所述驱动端(431a)与所述转动轴(432)之间设有联轴结构(433)，所述联轴结构(433)包括：联动槽(433a)和联动头(433b)，联动槽(433a)开设于所述转动轴(432)靠近所述调向臂(420)的一端上，联动头(433b)成型于所述调向臂(420)靠近所述转动轴(432)的一端上，当所述伸缩结构(431c)将所述转动端(431b)与所述驱动端(431a)重合时，所述联动头(433b)进入所述联动槽(433a)中。