[发明专利]感应式位置测量装置在审
| 申请号： | 202110444104.1 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113566685A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 马克·奥利弗·蒂曼;马丁·厄曼;亚历山大·弗兰克 | 申请（专利权）人： | 约翰内斯.海德汉博士有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00;G01B7/30;G01B7/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张英 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及感应式位置测量装置，其具有扫描元件(1)和标尺元件(2)。能够由该位置测量装置确定扫描元件的相对于标尺元件在第一方向(x)和第二方向(z)上的位置。标尺元件包括沿第一方向依次排列的分度结构体(2.1)，分度结构体沿第二方向具有带第二周期长度(Dz)的周期性走向。扫描元件包括第一接收器轨道(1.1)、第二接收器轨道(1.2)和第三接收器轨道(1.3)以及激励导线(1.4、1.5、1.6)。三个接收器轨道(1.1、1.2、1.3)之一各自具有两个接收器导轨(1.11、1.12、1.21、1.22、1.31、1.32)。接收器导轨沿第一方向具有带第一周期长度(Px)的周期性走向，接收器轨道(1.1、1.2、1.3)在第二方向上彼此错开。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 位置 测量 装置 | ||
【主权项】：
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