[发明专利]感应式位置测量装置

权利要求书

1.一种感应式位置测量装置，所述感应式位置测量装置具有扫描元件(1)和标尺元件(2)，其中，能够由所述感应式位置测量装置确定所述扫描元件(1)的相对于所述标尺元件(2)在第一方向(x)和第二方向(z)上的位置，其中，

所述标尺元件(2)包括沿着所述第一方向(x)依次排列的分度结构体(2.1)，其中，所述分度结构体(2.1)沿着所述第二方向(z)具有周期性走向，该周期性走向具有第二周期长度(Dz)，并且

所述扫描元件(1)包括第一接收器轨道(1.1)、第二接收器轨道(1.2)和第三接收器轨道(1.3)以及激励导线(1.4、1.5、1.6)，其中，

三个接收器轨道(1.1、1.2、1.3)中的每一个各自具有两个接收器导轨(1.11、1.12、1.21、1.22、1.31、1.32)，所述接收器导轨沿所述第一方向(x)具有周期性走向，该周期性走向具有第一周期长度(Px)，其中，接收器轨道(1.1、1.2、1.3)在所述第二方向(z)上彼此错开地设置。

2.根据权利要求1所述的感应式位置测量装置，其中，所述第一接收器轨道(1.1)相对于所述第二接收器轨道(1.2)在所述第二方向(z)上偏移了第一轨道偏移量(Pz12)，并且所述第一轨道偏移量(Pz12)不等于所述第二周期长度(Dz)的n倍，n为自然数，即Pz12≠n·Dz。

3.根据权利要求1或2所述的感应式位置测量装置，其中，所述第二接收器轨道(1.2)相对于所述第三接收器轨道(1.3)在所述第二方向(z)上偏移了第二轨道偏移量(Pz23)，并且所述第二轨道偏移量(Pz23)不等于所述第二周期长度(Dz)的n倍，n为自然数，即Pz23≠n·Dz。

4.根据权利要求2或3所述的感应式位置测量装置，其中，所述第一轨道偏移量(Pz12)或第二轨道偏移量(Pz23)等于所述第二周期长度(Dz)的n倍除以另一自然数m，即

Pz12＝n·Dz/m，其中n≠m，或

Pz23＝n·Dz/m，其中n≠m。

5.根据权利要求4所述的感应式位置测量装置，其中，所述另一自然数m等于3，即

Pz12＝n·Dz/3，其中n≠3，或

Pz23＝n·Dz/3，n≠3。

6.根据前述权利要求中任一项所述的感应式位置测量装置，其中，所述第一接收器轨道(1.1)相对于所述第二接收器轨道(1.2)在所述第二方向(z)上偏移了第一轨道偏移量(Pz12)，并且所述第二接收器轨道(1.2)相对于所述第三接收器轨道(1.3)在所述第二方向(z)上偏移了第二轨道偏移量(Pz23)，其中，所述第一轨道偏移量(Pz12)与所述第二轨道偏移量(Pz23)相等，即Pz12＝Pz23。

7.根据前述权利要求中任一项所述的感应式位置测量装置，其中，所述分度结构体(2.1)沿着所述第一方向(x)以分度周期(Dx)周期性依次排列，其中，所述分度周期(Dx)的长度与所述第一周期长度(Px)相似或刚好相等，从而适用：

0.75·Dx≤Px≤1.25·Dx。

8.根据前述权利要求中任一项所述的感应式位置测量装置，其中，所述分度结构体(2.1)沿着所述第二方向(z)具有正弦形走向。

9.根据前述权利要求中任一项所述的感应式位置测量装置，其中，所述分度结构体(2.1)设计为接片(2.11)和间隙(2.12)。

10.根据前述权利要求中任一项所述的感应式位置测量装置，其中，所述接收器导轨(1.11、1.12、1.21、1.22、1.31、1.32)沿着所述第一方向(x)具有正弦形走向。

11.根据前述权利要求中任一项所述的感应式位置测量装置，其中，所述标尺元件(2)能够相对于所述扫描元件(1)围绕轴线(A)旋转，所述轴线平行于所述第二方向(z)延伸，并且所述第一方向(x)沿环周方向延伸。

12.根据权利要求11所述的感应式位置测量装置，其中，所述标尺元件(2)设计为柱形体。