[发明专利]一种杠杆式表面轮廓测量传感器有效
| 申请号： | 202110441050.3 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN112902826B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 施玉书;张树;马英瀚;余茜茜;皮磊 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B7/28 | 分类号： | G01B7/28 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张德才 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种杠杆式表面轮廓测量传感器，涉及零件几何轮廓测量技术领域，包括杠杆测量模块、测量力恒定控制模块、测量范围调整模块和数据处理模块；杠杆测量模块包括触针、杠杆和支点，杠杆转动安装于支点上，触针安装于杠杆的第一端，用于与被测样品接触，被测样品放置在载物台上；测量力恒定控制模块包括力传感器、力补偿装置和连接杆，力传感器以及力补偿装置均与数据处理模块连接，力传感器安装于载物台的下方，连接杆与杠杆的第二端连接，力补偿装置与连接杆连接；测量范围调整模块与数据处理模块连接，实现测量范围的调整。本发明在测量过程中控制测量力恒定，增加测量结果的真实性与可信度，并且实现对不同范围的轮廓进行高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 杠杆 表面 轮廓 测量 传感器 | ||
【主权项】：
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