[发明专利]一种槽盖装置和槽式清洗设备在审
| 申请号： | 202110436698.1 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113275307A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 胡睿凡 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种槽盖装置和槽式清洗设备，其中所述槽盖装置包括：槽盖板、固定架和可伸缩机构；固定架设置于清洗槽的槽壁外部，可伸缩机构设于固定架上；槽盖板设置于清洗槽上方，槽盖板的一端固定设有连杆组件，连杆组件分别与固定架和可伸缩机构的伸缩端铰接，可伸缩机构用于驱动连杆组件进行转动，以使槽盖板进行翻转打开或关闭清洗槽的槽口。本发明能够提高槽盖装置的装配灵活性，提高槽盖装置与清洗槽的密封性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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