[发明专利]一种基于相变原理的忆阻器及其制备方法有效
申请号: | 202110436345.1 | 申请日: | 2021-04-22 |
公开(公告)号: | CN113206193B | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
发明(设计)人: | 徐明;王俊钦;缪向水 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H10N70/20 | 分类号: | H10N70/20 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 祝丹晴 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于相变原理的忆阻器及其制备方法,属于微电子技术领域;其中,忆阻器包括:由下至上的基底、底电极、第一限制层、介质层、第二限制层以及顶电极;第一限制层和第二限制层的材料均包括二维原子晶体材料;介质层的材料包括相变材料;第一限制层和第二限制层用于对介质层的相变范围进行限制;二维原子晶体材料中的二维原子晶体具有较高的结构稳定性,在介质层两侧制备限制层能够为介质层在垂直方向上施加较大的应力,对介质层的相变范围进行限制,大大提高了忆阻器的稳定性以及各种阻态下的保持时间,能够使得相变材料的亚稳态状态更加稳定,成为稳态,进而使器件拥有更好的稳定阻态。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 相变 原理 忆阻器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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