[发明专利]石英摆片结构及其加工方法在审
| 申请号： | 202110434041.1 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN115236358A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 袁枫;秦淑斌;于皓;王洋;顾文华;张姝婷;王文磊;刘佳佳;赵龙 | 申请（专利权）人： | 航天科工惯性技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种石英摆片结构及其加工方法，该结构包括支撑环、两个椭锥形挠性梁、摆舌、导电金区和多个凸台，支撑环具有定位圆槽口，两个椭锥形挠性梁相对于石英摆片结构的摆轴对称设置，任一椭锥形的横截面均由第一直线段、第一弧形段、第二直线段和第二弧形段首尾连接而成，任一椭锥形的横截面的宽度沿第一直线段向第二直线段依次减小，两个椭锥形挠性梁的由第一直线段组成的端部均与支撑环连接，摆舌与两个挠性梁的由第二直线段组成的端部连接，多个凸台间隔设置在支撑环上且朝向摆舌突出设置。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中敏感零件摆片易受外力造成损伤，导致加速度计的精度提升困难的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 结构 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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