[发明专利]杠杆式多孔抛光垫在审
| 申请号： | 202110421271.4 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113524024A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 蔡薇雯;川端克昌;黄辉彬;上原茜;武居阳祐 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B37/26;G01B11/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;徐鑫 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种包括多孔基体的多孔聚氯酯抛光垫。多孔基体具有从基表面向上延伸并向上表面开口的大孔。大孔与三级孔互连，大孔的一部分向顶部抛光表面开口，并且大孔的至少一部分延伸到顶部抛光表面。弹簧臂区段连接大孔的下区段和上区段。弹簧臂区段全部在从竖直取向测量的相同水平方向上，并且它们组合以增加抛光过程中抛光垫的压缩率和顶部抛光表面的接触面积。 | ||
| 搜索关键词： | 杠杆 多孔 抛光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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