[发明专利]杠杆式多孔抛光垫在审
申请号: | 202110421271.4 | 申请日: | 2021-04-19 |
公开(公告)号: | CN113524024A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 蔡薇雯;川端克昌;黄辉彬;上原茜;武居阳祐 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
主分类号: | B24B37/24 | 分类号: | B24B37/24;B24B37/26;G01B11/06 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋;徐鑫 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 杠杆 多孔 抛光 | ||
1.一种多孔聚氯酯抛光垫,包括:
多孔基体,所述多孔基体具有从基表面向上延伸并向上表面开口的大孔,所述大孔与三级孔互连,所述大孔的一部分向顶部抛光表面开口,延伸到所述顶部抛光表面的所述大孔的至少一部分包括具有竖直取向的下区段和上区段以及连接所述下区段和所述上区段的弹簧臂区段,其中,竖直是朝向所述上表面与所述基表面正交的方向,所述弹簧臂区段全部在从所述竖直取向测量的相同水平方向上,并且其中,所述弹簧臂区段组合以增加抛光过程中所述抛光垫的压缩率和所述顶部抛光表面的接触面积。
2.如权利要求1所述的抛光垫,其中,所述弹簧臂区段在所述大孔的大部分的所述下区段和上区段之间形成水平分隔间隙。
3.如权利要求1所述的抛光垫,其中,所述弹簧臂区段在所述大孔的大部分的所述下区段和上区段之间形成水平重叠部。
4.如权利要求1所述的抛光垫,其中,所述弹簧臂区段具有从向上竖直方向测量的15至90度的角度。
5.如权利要求1所述的抛光垫,其中,中等尺寸的孔邻近于所述大孔的弹簧臂区段产生,并且所述中等尺寸的孔具有竖直取向。
6.如权利要求5所述的抛光垫,其中,小孔在所述中等尺寸的孔之间产生。
7.如权利要求6所述的抛光垫,其中,具有弹簧臂区段的所述大孔表示大孔加中等尺寸的孔和小孔的总数的不到百分之五十。
8.如权利要求1所述的抛光垫,其中,所述抛光垫具有使用5mm直径的探针抵靠平坦样本通过以下步骤测量的至少5%的压缩率:添加60.5克样本,等待六十秒,然后测量厚度1(T1),然后等待额外的六十秒后,添加额外的98克而总共158.5克,在等待额外的六十秒后测量厚度(T2),并且其中,压缩率(%)=(T1-T2)/T1。
9.如权利要求1所述的抛光垫,其中,所述抛光垫具有形成凹槽的压纹表面,所述凹槽延伸到所述抛光垫的周边。
10.如权利要求1所述的抛光垫,其中,所述下区段的平均直径大于所述上区段的平均直径。
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