[发明专利]透镜球差测量系统及方法有效
申请号: | 202110414174.2 | 申请日: | 2021-04-16 |
公开(公告)号: | CN113125121B | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 林建东;罗先萍;任玉松;秦屹 | 申请(专利权)人: | 森思泰克河北科技有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 彭竞驰 |
地址: | 050200 河北省石家庄*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种透镜球差测量系统及方法,该系统包括:光源产生装置、第一轴锥镜、第二轴锥镜、被测透镜、光电探测器和控制装置;光源产生装置,用于产生单色均匀的平行光;第一轴锥镜、第二轴锥镜和被测透镜沿探测光束的传输方向依次共光轴布置;光电探测器的感光面位于被测透镜的焦点处,且与被测透镜的光轴垂直;光电探测器,用于检测到达感光面的探测光束的光强分布信息,将光强分布信息发送给控制装置。通过改变第一轴锥镜和第二轴锥镜之间的距离,来改变入射到所述被测透镜的探测光束边缘离光轴的高度,从而快速测量边缘离光轴的高度不同的探测光束入射时被测透镜的球差。 | ||
搜索关键词: | 透镜 测量 系统 方法 | ||
【主权项】:
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