[发明专利]体声波滤波器及其形成方法在审
| 申请号： | 202110412584.3 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113114157A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 罗传鹏;项少华;王冲;蔡敏豪;王勇涛 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路制造（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种体声波滤波器及其形成方法。通过形成支撑结构，以界定出空腔在衬底的上方，并用于对下电极及其上方的膜层进行支撑，提高下电极及其上方的膜层在空腔上方的机械强度，有利于增大释放孔的尺寸以加快空腔空间的释放速度。并且，针对衬底上方的空腔而言，其制备方法可以不包括化学机械研磨工艺，规避了化学机械研磨工艺所带来的精度难以管控的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 滤波器 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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