[发明专利]一种具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构有效
| 申请号： | 202110411103.7 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113265639B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 刘亮;肖畅 | 申请（专利权）人： | 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 安娜 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有自动摆动行星盘的镀膜转动机构，包括：固定轮、公转盘和导向轮；固定轮与真空室连接；公转盘设置在固定轮的下方，并设置有多个自转盘，每个自转盘通过转动传递机构与固定轮连接并通过摆动传递机构与导向轮连接。导向轨道的结构被设置为在公转盘旋转时，带动滑动结构沿导轨前后移动，使得摆动臂摆动。本发明能够避免开门手动调节自转盘的角度，使得镀膜过程一次完成，从而能够保证膜层质量和提高镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 自动 摆动 行星 镀膜 转动 机构 | ||
【主权项】：
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