[发明专利]面向航空发动机的阵列式柔性压电传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110408510.2 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113267289B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 杨斌;甄丽云;易志然;刘景全 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01L9/08 | 分类号： | G01L9/08;G01L23/10 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银;赵楠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种面向航空发动机的阵列式柔性压电传感器及其制备方法，包括：设置于衬底上的聚合物绝缘层，用于隔离衬底和上电极层；设置于衬底上的压电敏感层，压电敏感层包括呈阵列式排布的若干压电敏感单元，若干压电敏感单元相互分离，用于采集叶尖间隙高频气体脉冲压力信号，并将采集的信号的变化转换为电压或电荷的变化；设置于聚合物绝缘层上的上电极层，且上电极层的电极点的下表面分别与压电敏感单元的上表面相贴；上电极层用于与外部电荷放大电路或测试电路导通，以实时监测传感器的电压或电荷变化；设置于上电极层上方用于密封和保护器件的封装层。本发明结构设计及加工工艺简单，具有超薄的器件厚度、宽频响应、高灵敏度以及高分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 面向 航空发动机 阵列 柔性 压电 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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