[发明专利]衍射光学组件及获取方法、光学系统有效

专利信息
申请号: 202110397369.0 申请日: 2021-04-13
公开(公告)号: CN113514910B 公开(公告)日: 2023-04-18
发明(设计)人: 方红;姜鹏 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: G02B5/00 分类号: G02B5/00;G02B5/18;G03F1/84
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 熊永强
地址: 430074 湖北省武汉*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 本申请提供了衍射光学组件及获取方法、光学系统。其中衍射光学组件包括第一基础元件,第一基础元件具有第一透光区及第一非透光区。第二基础元件,第二基础元件具有第二透光区及第二非透光区,第一基础元件与第二基础元件层叠设置,第一非透光区覆盖至少部分第二透光区,第二非透光区覆盖至少部分第一透光区,并使剩余的第一透光区与剩余的第二透光区形成目标透光区。通过第一基础元件与第二基础元件的组合,使原本复杂的衍射光学元件分解成几个简单的基础元件,从而降低衍射光学元件的制备难度与制备时间,降低了检测成本。另外,由于第一基础元件与第二基础元件可重复使用,可进一步降低衍射光学元件的成本。
搜索关键词: 衍射 光学 组件 获取 方法 光学系统
【主权项】:
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