[发明专利]一种超细狭缝真空密封装置

摘要

本发明提供一种超细狭缝真空密封装置，对相邻两个工作腔室间不同的工作压强和气氛环境进行密封隔绝。该密封装置主要由超细狭缝构成，超细狭缝设置在两个工作腔室之间；超细狭缝的间隙b为需要通过的物料厚度的1.5倍，且b至少为1毫米；超细狭缝在物料走行方向上的长度L为1米以上。超细狭缝的长度L与b3×△P成正比，其中，△P为超细狭缝两侧的压强差。在相邻2个超细狭缝之间设置有过渡腔室，过渡腔室中设有压力传感器和真空抽气系统，压力传感器实时监控过渡腔室中的真空度，维持过渡腔室内的真空度的稳定。通过过渡腔室和超细狭缝互相配合，可实现在该超细狭缝真空密封装置两侧保持高达106‑109量级工作压强跨度。