[发明专利]一种超细狭缝真空密封装置

权利要求书

1.一种超细狭缝真空密封装置，通过降低流导和气体捕集降低气体分子的通过几率，对相邻两个工作腔室间不同的工作压强和气氛环境进行密封隔绝；两个工作腔室之间的工作压强跨度为10³量级以上，两个工作腔室之间是连通的，不设置封闭式阀门；该密封装置主要由超细狭缝构成，超细狭缝设置在两个工作腔室之间；超细狭缝的间隙b为需要通过的物料厚度的1.5倍以上，且b至少为1毫米；超细狭缝在物料走行方向上的长度L为1米以上。

2.根据权利要求1所述的超细狭缝真空密封装置，其特征在于：超细狭缝的长度L与b³×△P成正比，其中，△P为超细狭缝两侧的压强差。

3.根据权利要求1所述的超细狭缝真空密封装置，其特征在于：超细狭缝的内壁上排布有多个微腔；从压强较低侧至压强较高侧的方向上，微腔的排布数量密度逐渐增大；微腔为在微腔开口处存在收缩。

4.根据权利要求1所述的超细狭缝真空密封装置，其特征在于：该密封装置包括2个以上的超细狭缝，在相邻2个超细狭缝之间设置有过渡腔室；两个工作腔室之间的工作压强跨度为10⁶至10⁹量级。

5.根据权利要求4所述的超细狭缝真空密封装置，其特征在于：过渡腔室中设有压力传感器和真空抽气系统，压力传感器实时监控过渡腔室中的真空度，维持过渡腔室内的真空度的稳定。

6.根据权利要求5所述的超细狭缝真空密封装置，其特征在于：当过渡腔室中的真空度低于第1压力设定值时，则增大真空抽气系统中的蝶阀开度以提高过渡腔室中的真空度，当过渡腔室中的真空度高于第2压力设定值时，则降低蝶阀开度，同时通入一定量氩气。

7.根据权利要求2所述的超细狭缝真空密封装置，其特征在于：所述的物料厚度为1毫米以下。

8.根据权利要求2所述的超细狭缝真空密封装置，其特征在于：所述的物料厚度为20微米以下。

9.根据权利要求1所述的超细狭缝真空密封装置，其特征在于：所述的工作腔室的工作压强为2×10⁵Pa以下。

10.根据权利要求1所述的超细狭缝真空密封装置，其特征在于：所述的工作腔室为连续式卷对卷镀膜设备中的工作腔室，所述的物料为柔性基膜。