[发明专利]静电MEMS微镜在审
| 申请号： | 202110383730.4 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN115202032A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 董晓诗;徐景辉;孙丰沛 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 | 代理人： | 时林;王君 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种静电MEMS微镜，可以应用在手机、麦克风、摄像头、雷达、光开光等器件上，包括：支撑梁、微镜和驱动组件；驱动组件包括梳齿框、以及位于梳齿框内的驱动梳齿；支撑梁和微镜通过梳齿框相连，梳齿框中与微镜连接的两条边框分别位于支撑梁的延伸线确定的旋转轴的两侧；驱动梳齿包括至少一对梳齿对，梳齿对包括动梳齿结构和静梳齿结构，动梳齿结构包括多个动梳齿，动梳齿的一端固定在梳齿框上，静梳齿结构用于与动梳齿结构产生静电力，其中，动梳齿的固定端到旋转轴的距离大于动梳齿的另一端到旋转轴的距离。该结构能够进一步提高静电MEMS微镜的转角范围和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 mems 微镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华为技术有限公司，未经华为技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110383730.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
