[发明专利]一种晶元烘烤用烘箱在审
| 申请号： | 202110378986.6 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113203257A | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 李双玉 | 申请（专利权）人： | 涌明科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/00;F26B25/06;F26B25/12;F26B25/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 范琳 |
| 地址： | 201599 上海市金山*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶元生产技术领域，尤其是一种晶元烘烤用烘箱，包括保温箱体，所述保温箱体固定设有安装隔板一，两个所述弧形贯穿滑槽一的内壁滑动连接设有安装板，所述安装板固定设有两个导向柱，所述保温箱体固定设有安装隔板二，所述导向柱均滑动连接设有移动座，所述移动座均固定设有L形安装板，所述L形安装板均固定设有喷风罩，所述喷风罩均固定设有伸缩软管，所述伸缩软管均固定设有连接管，所述三通固定设有加热组件，所述加热组件固定设有风机，所述长形贯穿槽的内壁滑动连接设有两个夹板，所述夹板均等距离设有多个弧形卡槽。本发明在普通烘箱的基础上，设置了往复、升降、调节和保温装置，提高了烘干效果、便捷性、节能性和工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 烘烤 烘箱 | ||
【主权项】：
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