[发明专利]石英玻璃坩埚及其制造方法在审
| 申请号： | 202110376136.2 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113493925A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 池田将人 | 申请（专利权）人： | 阔斯泰公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06;C03B19/06;C03B19/04;C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京奉思知识产权代理有限公司 11464 | 代理人： | 刘欣欣;王国志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种用于培育单晶硅的石英玻璃坩埚，其特征在于，至少在从所述石英玻璃坩埚的内表面至深度3mm的区域中的氧过量缺陷的含量为3×10 |
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| 搜索关键词： | 石英玻璃 坩埚 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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