[发明专利]集成滤光器和光电检测器及其制造方法

摘要

根据本公开，本文描述了集成滤光器和光电检测器及其制造方法。本文描述的集成滤光器和光电检测器的示例包括衬底、所述衬底上的绝缘体层、以及所述绝缘体层上的半导体层。在所述半导体层中或所述半导体层上形成具有谐振腔的滤光器。所述集成滤光器和光电检测器进一步包括在所述半导体层上形成肖特基势垒的两个第一金属指状物、和第二金属指状物，所述第二金属指状物交错位于所述两个第一金属指状物之间。所述第一金属指状物由相对于所述第二金属指状物不同的金属构建。