[发明专利]一种可多方向采集的阻滞势分析仪有效
| 申请号： | 202110367483.9 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN113092125B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 杨祖仪;霍亮 | 申请（专利权）人： | 江苏深蓝航天有限公司 |
| 主分类号： | G01M15/14 | 分类号： | G01M15/14;G01M15/02 |
| 代理公司： | 北京鼎承知识产权代理有限公司 11551 | 代理人： | 顾可嘉;夏华栋 |
| 地址： | 226368 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种可多方向采集的阻滞势分析仪，入口栅极、电子屏蔽栅极、离子能量扫描栅极均为半球形的球壳结构、且三者的球心重合；入口栅极底部嵌设在外壳与第一环形绝缘套之间，电子屏蔽栅极底部嵌设在第一环形绝缘套与第二环形绝缘套之间、且位于入口栅极内侧，离子能量扫描栅极底部嵌设在第二环形绝缘套与第三环形绝缘套之间、且位于电子屏蔽栅极内侧，收集极固装在第三环形绝缘套内、且位于离子能量扫描栅极内侧；入口栅极、电子屏蔽栅极、离子能量扫描栅极均具有若干通孔、且径向对准，通过径向对准的各通孔的离子能被收集极接收。本申请由于半球形栅极的结构特性，可以诊断来自多个方向离子能量的分布，解决了测量方向单一的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多方 采集 阻滞 分析 | ||
【主权项】：
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