[发明专利]一种可多方向采集的阻滞势分析仪

权利要求书

1.一种可多方向采集的阻滞势分析仪，其特征在于：包括外壳(1)、入口栅极(2)、第一环形绝缘套(3)、电子屏蔽栅极(4)、第二环形绝缘套(5)、离子能量扫描栅极(6)、第三环形绝缘套(7)、收集极(8)；

所述入口栅极(2)、电子屏蔽栅极(4)、离子能量扫描栅极(6)均为半球形的球壳结构、且三者的球心重合；

所述入口栅极(2)底部嵌设在所述外壳(1)与所述第一环形绝缘套(3)之间，所述电子屏蔽栅极(4)底部嵌设在所述第一环形绝缘套(3)与所述第二环形绝缘套(5)之间、且位于所述入口栅极(2)内侧，所述离子能量扫描栅极(6)底部嵌设在所述第二环形绝缘套(5)与所述第三环形绝缘套(7)之间、且位于所述电子屏蔽栅极(4)内侧，所述收集极(8)固定安装在所述第三环形绝缘套(7)内、且位于所述离子能量扫描栅极(6)内侧；

所述入口栅极(2)、电子屏蔽栅极(4)、离子能量扫描栅极(6)均具有若干均匀分布的通孔(9)，各栅极上相应的所述通孔(9)径向对准，通过径向对准的各所述通孔(9)的离子均能够被所述收集极(8)接收，各个对准通孔(9)组成的离子通道指向多个方向，来自多个方向的离子可通过对应的离子通道，逐步穿过各栅极，到达收集极(8)；

所述收集极(8)上部为半球形，并且，所述入口栅极(2)、电子屏蔽栅极(4)、离子能量扫描栅极(6)、收集极(8)上部的球心重合；

还包括第一连接孔(10)、第二连接孔(11)、第三连接孔(12)；

所述第一连接孔(10)穿过所述外壳(1)、入口栅极(2)并延伸进所述第一环形绝缘套(3)，所述第一连接孔(10)用于安装第一导线(13)，所述第一导线(13)端部与所述入口栅极(2)连接；

所述第二连接孔(11)穿过所述外壳(1)、入口栅极(2)、第一环形绝缘套(3)、电子屏蔽栅极(4)并延伸进所述第二环形绝缘套(5)，所述第二连接孔(11)用于安装第二导线(14)，所述第二导线(14)端部与所述电子屏蔽栅极(4)连接；

所述第三连接孔(12)穿过所述外壳(1)、入口栅极(2)、第一环形绝缘套(3)、电子屏蔽栅极(4)、第二环形绝缘套(5)、离子能量扫描栅极(6)并延伸进所述第三环形绝缘套(7)，所述第三连接孔(12)用于安装第三导线(15)，所述第三导线(15)端部与所述离子能量扫描栅极(6)连接。

2.根据权利要求1所述的一种可多方向采集的阻滞势分析仪，其特征在于：还包括定位孔(16)，所述定位孔(16)穿过所述外壳(1)、入口栅极(2)、第一环形绝缘套(3)、电子屏蔽栅极(4)、第二环形绝缘套(5)、离子能量扫描栅极(6)并延伸进所述第三环形绝缘套(7)内，所述定位孔(16)用于安装定位销(17)，所述定位销(17)由绝缘材料构成。

3.根据权利要求2所述的一种可多方向采集的阻滞势分析仪，其特征在于：所述定位孔(16)设置为三个，相邻所述定位孔(16)之间的夹角为60°。

4.根据权利要求3所述的一种可多方向采集的阻滞势分析仪，其特征在于：还包括第四连接孔(18)，所述第三环形绝缘套(7)具有底板(19)，所述第四连接孔(18)穿过所述外壳(1)底部、底板(19)，所述第四连接孔(18)用于安装第四导线，所述第四导线端部与所述收集极(8)连接。

5.根据权利要求4所述的一种可多方向采集的阻滞势分析仪，其特征在于：所述第一环形绝缘套(3)外表面具有第一夹装缺槽(20)，所述第二环形绝缘套(5)外表面具有第二夹装缺槽(21)，所述第三环形绝缘套(7)外表面具有第三夹装缺槽(22)。

6.根据权利要求1至5任一项所述的一种可多方向采集的阻滞势分析仪，其特征在于：所述第一环形绝缘套(3)与所述外壳(1)螺纹连接固定，所述第二环形绝缘套(5)与所述第一环形绝缘套(3)螺纹连接固定，所述第三环形绝缘套(7)与所述第二环形绝缘套(5)螺纹连接固定，所述收集极(8)与所述第三环形绝缘套(7)螺纹连接固定。