[发明专利]用于制造掩膜组件的方法和装置及制造显示设备的方法在审
| 申请号： | 202110367023.6 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN113604776A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 赵俊豪;金昇垣;朴永浩;李宁哲 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 刘钊;周艳玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种用于制造掩膜组件的装置和方法以及一种制造显示设备的方法。该装置可包括：张紧部，被配置以与包括至少一个开口的掩膜框架隔开，所述张紧部被配置以沿第一方向和第二方向中的至少一个方向张紧掩膜片，所述掩膜片包括对应于所述至少一个开口的单元区域和布置在所述单元区域外的虚拟部分；按压部，被配置以对应于所述虚拟部分并沿第三方向朝向所述掩膜框架按压所述虚拟部分，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向在其中延伸的平面交叉；以及头部，被配置以朝向所述掩膜片照射激光束以将所述掩膜片固定至所述掩膜框架。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 组件 方法 装置 显示 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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