[发明专利]用于制造掩膜组件的方法和装置及制造显示设备的方法

权利要求书

1.一种用于制造掩膜组件的装置，所述装置包括：

张紧部，被配置以与包括至少一个开口的掩膜框架隔开，所述张紧部被配置以沿第一方向和第二方向中的至少一个方向张紧掩膜片，所述掩膜片包括对应于所述至少一个开口的单元区域和布置在所述单元区域外的虚拟部分；

按压部，被配置以对应于所述虚拟部分并沿第三方向朝向所述掩膜框架按压所述虚拟部分，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向在其中延伸的平面交叉；以及

头部，被配置以朝向所述掩膜片照射激光束，以将所述掩膜片固定至所述掩膜框架。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述张紧部包括：

至少一对夹持部，被配置以夹持所述虚拟部分的边缘；和

移动部，沿所述第一方向或所述第二方向移动所述至少一对夹持部，以向所述掩膜片施加张力。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述张紧部进一步包括旋转体，该旋转体使所述至少一对夹持部围绕平行于所述掩膜框架的表面的旋转轴线旋转。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述头部被配置以检查所述掩膜片与所述掩膜框架之间的对准。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述头部被配置以向所述掩膜片照射激光束，以从所述掩膜片的所述单元区域切割所述虚拟部分的一部分。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述按压部包括被放置为与所述虚拟部分直接接触的至少两个辊。

7.根据权利要求6所述的装置，其中所述至少两个辊被布置在对应于所述单元区域的区域的相对侧，以将该区域夹在所述至少两个辊之间。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述按压部包括被配置以沿所述第三方向将压缩空气喷射至所述虚拟部分的注射孔。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述按压部包括被布置为沿所述第三方向将磁力施加至所述虚拟部分的多个磁体。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述按压部被配置以使所述掩膜片弯折，使得所述单元区域比所述虚拟部分的边缘更靠近所述掩膜框架。

11.根据权利要求10所述的装置，其中所述按压部被配置以使所述掩膜片的一部分弯折为圆形。

12.一种制造掩膜组件的方法，所述方法包括：

制备包括至少一个开口的掩膜框架；

制备掩膜片，该掩膜片包括对应于所述至少一个开口的单元区域和布置在所述单元区域外的虚拟部分；

张紧所述掩膜片；

将所述掩膜片对准至所述掩膜框架的一侧；

朝向所述掩膜框架按压所述掩膜片的所述虚拟部分；以及

通过向所述虚拟部分照射激光束将所述掩膜片固定至所述掩膜框架。

13.根据权利要求12所述的方法，进一步包括在所述掩膜片的所述单元区域中形成至少两个图案孔。

14.根据权利要求12所述的方法，其中所述张紧所述掩膜片包括夹持所述虚拟部分的边缘并沿第一方向或第二方向对所述掩膜片施加张力。

15.根据权利要求12所述的方法，其中所述按压所述虚拟部分包括：

通过直接对所述虚拟部分施加力朝向所述掩膜框架按压所述掩膜片；

使所述虚拟部分的一部分弯折；以及

使所述虚拟部分接触所述掩膜框架。

16.根据权利要求12所述的方法，其中所述按压所述虚拟部分包括：

通过向所述虚拟部分喷射压缩空气朝向所述掩膜框架按压所述虚拟部分；

使所述虚拟部分的一部分弯折；以及

使所述虚拟部分接触所述掩膜框架。