[发明专利]用于多区加热盘的转接结构、交流滤波器组合和方法在审

专利信息
申请号: 202110361648.1 申请日: 2021-04-02
公开(公告)号: CN115190664A 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 刘振;林英浩;申思;谭华强 申请(专利权)人: 拓荆科技股份有限公司
主分类号: H05B3/03 分类号: H05B3/03;H05B3/02;H05B3/00;H01J37/32
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 林彦
地址: 110171 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 本申请涉及用于多区加热盘的转接结构、交流滤波器组合和方法。提供了一种用于多区加热盘的转接结构。所述多区加热盘包括加热盘射频电极、连接到第一区域加热元件的第一对加热盘交流电极以及连接到第二区域加热元件的第二对加热盘交流电极。所述转接结构包括:射频连接结构、第一对交流连接结构以及第二对交流连接结构。所述射频连接结构包括第一硬质连接器,用于将所述加热盘射频电极连接到调谐器。所述第一对交流连接结构包括第一对硬质连接器,用于将所述第一对加热盘交流电极连接到第一交流滤波器。所述第二对交流连接结构包括第二对硬质连接器,用于将所述第二对加热盘交流电极连接到第二交流滤波器。
搜索关键词: 用于 加热 转接 结构 交流 滤波器 组合 方法
【主权项】:
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