[发明专利]用于多区加热盘的转接结构、交流滤波器组合和方法

权利要求书

1.一种用于多区加热盘的转接结构，所述多区加热盘包括加热盘射频电极、连接到第一区域加热元件的第一对加热盘交流电极以及连接到第二区域加热元件的第二对加热盘交流电极，所述转接结构包括：

射频连接结构，其包括第一硬质连接器，用于将所述加热盘射频电极连接到调谐器；

第一对交流连接结构，其包括第一对硬质连接器，用于将所述第一对加热盘交流电极连接到第一交流滤波器；以及

第二对交流连接结构，其包括第二对硬质连接器，用于将所述第二对加热盘交流电极连接到第二交流滤波器。

2.根据权利要求1所述的转接结构，其中所述第一硬质连接器大致呈L形。

3.根据权利要求1所述的转接结构，其中所述第一硬质连接器的一端形成射频电极接入端子，用于连接所述加热盘射频电极，且其中所述第一硬质连接器的另一端连接到所述调谐器。

4.根据权利要求3所述的转接结构，其中所述第一硬质连接器的所述另一端通过射频转接柱连接到所述调谐器。

5.根据权利要求1所述的转接结构，其中所述第一对硬质连接器中的每一者大致呈柱形。

6.根据权利要求1所述的转接结构，其中所述第一对硬质连接器中的每一者的一端形成交流电极接入端子，用于连接所述第一对加热盘交流电极中的相应加热盘交流电极，且其中所述第一对硬质连接器中的每一者的另一端形成交流电接口，用于连接所述第一交流滤波器的相应交流电输出端口。

7.根据权利要求1所述的转接结构，其进一步包括多个隔离组件，其中所述多个隔离组件包围所述射频连接结构、所述第一对交流连接结构和第二对交流连接结构。

8.根据权利要求7所述的转接结构，其中所述隔离组件包括隔离管或隔离块。

9.一种用于多区加热盘的交流滤波器组合，所述多区加热盘包括第一区域加热元件和第二区域加热元件，所述交流滤波器组合包括：

第一交流滤波器，其用于对提供给第一区域加热元件的交流电进行滤波，且包括：

第一交流电输入端口，其用于连接到第一交流电源；

第一箱体，其中安装有第一滤波器电路组件，用于对来自所述第一交流电源的第一交流电进行滤波；

第一对交流电输出端口，其用于输出经滤波的第一交流电；以及

第一转接块，其安装在所述第一箱体上，用于将所述经滤波的第一交流电从所述第一滤波器电路组件提供到所述第一对交流电输出端口；以及

第二交流滤波器，其用于对提供给第二区域加热元件的交流电进行滤波，且包括：

第二交流电输入端口，其用于连接到第二交流电源；

第二箱体，其中安装有第二滤波器电路组件，用于对来自所述第二交流电源的第二交流电进行滤波；

第二对交流电输出端口，其用于输出经滤波的第二交流电；以及

第二转接块，其安装在所述第二箱体上，用于将所述经滤波的第二交流电从所述第二滤波器电路组件提供到所述第二对交流电输出端口；其中：

所述第一交流电输入端口与所述第二交流电输入端口采用不同的连接器；和/或

所述第一转接块与所述第二转接块外形不同。

10.根据权利要求9所述的交流滤波器组合，其进一步包括包围所述第一对交流电输出端口的第一对隔离管以及包围所述第二对交流电输出端口的第二对隔离管。

11.根据权利要求9所述的交流滤波器组合，其中所述第一交流电源与所述第二交流电源提供不同的交流电功率。

12.一种具有多区加热盘的半导体处理设备，所述半导体处理设备包括根据权利要求1-8中任一权利要求所述的转接结构以及根据权利要求9-11中任一权利要求所述的交流滤波器组合，所述交流滤波器组合通过所述转接结构连接到所述多区加热盘。