[发明专利]具有3D电路的微机电探针测试头及探针卡在审
申请号: | 202110358875.9 | 申请日: | 2021-04-02 |
公开(公告)号: | CN113495177A | 公开(公告)日: | 2021-10-12 |
发明(设计)人: | 黄郑隆 | 申请(专利权)人: | 松翰股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;G01R1/067;G01R31/28 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 傅磊;闫华 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明为一种具有3D电路的微机电探针测试头及探针卡,该探针头包括载体及多个探针,该载体具有上表面、侧面及下表面,中央具有窗口,载体上设有至少一组3D电路,该3D电路由多个线路分布且相连于上表面、侧面及上表面,且于上表面设有多个上接垫,下表面设有多个下接垫;探针由上而下依序包括针尾、针身及针尖,针尾焊接于相对位置的下接垫,使针身延伸至窗口下方且针尖朝下,探针卡则进一步括载板、电路板及镜头组,载板设有多个承载槽供载体安装其中,电路板则安装于载板上且与上接垫电性连接,镜头组设置于窗口内,借此使制造工序更为简单,且能适用测试小尺寸的图像感测芯片。 | ||
搜索关键词: | 具有 电路 微机 探针 测试 | ||
【主权项】:
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