[发明专利]一种非球面反射镜曲率半径检测装置及方法有效
| 申请号： | 202110350343.0 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN112902875B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 胡海翔;张鑫;程强;薛栋林;张学军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/255 | 分类号： | G01B11/255 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于镜面检测技术领域，提供了一种CGH补偿器及基于该CGH补偿器的非球面反射镜曲率半径检测装置，对中心带有孔的非球面镜进行检测。通过获取待检镜面形误差及离焦量，根据离焦量计算得到待检镜的曲率半径误差，利用曲率误差公式对各个区域的测量值进行合成，得到曲率半径误差，得到待检镜的曲率半径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 球面 反射 曲率 半径 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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