[发明专利]一种有机平面靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202110344325.1 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113105704A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 徐从康 | 申请（专利权）人： | 浙江弘康半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | C08L27/18 | 分类号： | C08L27/18;C08K3/04;C23C14/12;C23C14/34 |
| 代理公司： | 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285 | 代理人： | 陈彩霞 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有机平面靶材及其制备方法，其中制备方法包括以下步骤：碳纳米管(CNT)粉末和聚四氟乙烯(PTFE)粉预先混合成CNT：PTFE重量比为1：99，3：97，5：95，10：90，15：85的混合体。石墨粉与PTFE粉末以15：85、30：70的重量比混合，制备出碳含量高于CNT/PTFE的复合靶材，乙炔炭黑体积分数为0.4％的PTFE混合粉末，采用冷压烧结法制备CNT(石墨/炭黑)/PTFE复合聚合物靶材，然后进行铣削、焊接背板，制备的靶材直径和高度不受限制，工艺参数为：预成型压力为14.71～29.4MPa，保压10min左右，烧结温度为327℃以上，该有机复合靶材导电性好，可使用中频电流(MF)进行磁控溅射，效率高，且由该靶材制备的氟碳薄膜具有好的光透性和疏水性、低表面能、有高的硬度和模量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 平面 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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