[发明专利]Al合金蒸镀膜、显示器用配线膜及显示器装置有效
| 申请号： | 202110343743.9 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113529018B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 仓千晴;越智元隆 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/34;H01L23/532;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本兵库县神户市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的一个方式的Al合金蒸镀膜含有Al、及1.5atm％～6.0atm％的Zr或Zn，且进行1万次弯曲试验后的电阻率相对于进行所述弯曲试验前的电阻率之比为1.1以下，并且进行10万次所述弯曲试验后的电阻率相对于进行所述弯曲试验前的电阻率之比为1.3以下。本发明涉及一种包括所述Al合金蒸镀膜的显示器用配线膜、显示器装置、及Al合金蒸镀膜形成用的溅射靶材。 | ||
| 搜索关键词： | al 合金 镀膜 显示 器用 配线膜 显示器 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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