[发明专利]Al合金蒸镀膜、显示器用配线膜及显示器装置

权利要求书

1.一种Al合金蒸镀膜，包含：

Al及Al以外的其他金属元素，且

进行1万次弯曲试验后的电阻率相对于进行所述弯曲试验前的电阻率之比为1.1以下，且

进行10万次所述弯曲试验后的电阻率相对于进行所述弯曲试验前的电阻率之比为1.3以下，

其中，所述其他金属元素为Zr或Zn，

所述其他金属元素的含量为1.5 atm%以上且6.0 atm%以下，

所述Al合金蒸镀膜含有Al晶粒，且所述Al晶粒的平均粒径为20 nm以上且150 nm以下。

2.一种显示器用配线膜，包括如权利要求1所述的Al合金蒸镀膜。

3.一种显示器装置，包括如权利要求2所述的显示器用配线膜。

4.根据权利要求3所述的显示器装置，其包括：

层叠有所述显示器用配线膜的基板，且

所述显示器用配线膜的平均厚度相对于所述基板的平均厚度之比为0.005以上且0.05以下。