[发明专利]Al合金蒸镀膜、显示器用配线膜及显示器装置

说明书

本发明的一个方式的Al合金蒸镀膜含有Al、及1.5atm％～6.0atm％的Zr或Zn，且进行1万次弯曲试验后的电阻率相对于进行所述弯曲试验前的电阻率之比为1.1以下，并且进行10万次所述弯曲试验后的电阻率相对于进行所述弯曲试验前的电阻率之比为1.3以下。本发明涉及一种包括所述Al合金蒸镀膜的显示器用配线膜、显示器装置、及Al合金蒸镀膜形成用的溅射靶材。

技术领域

本发明涉及一种Al合金蒸镀膜、显示器用配线膜、显示器装置及溅射靶材。

背景技术

近年来，对轻量薄型、且携带性优异的显示器装置的需求不断提高。其中，在像素的开关中使用了薄膜晶体管（Thin Film Transistor：TFT）的有源矩阵型（active matrixtype）的液晶显示器装置由于可应对高精度的画质或高速动画，而得到普及。另外，目前，对能够折叠的柔性显示器装置的需求也在提高，在企业、大学、研究机构等中正在进行开发。

用于柔性显示器装置的基板具有可挠性以可进行自由弯曲。作为在所述柔性显示器装置中使用的扫描线或信号线、TFT的栅极电极、源极电极、漏极电极等配线的材料，采用Al或Al合金。对于所述配线，要求即使在反复弯曲的情况下也可抑制裂纹或断线的发生。

就此种观点而言，提出了如下技术：通过设置用于缓和弯曲显示器装置时产生的应力的应力缓和层，并将导电层层叠于此应力缓和层，来防止导电层的断裂（参照日本专利特开2007-86771号公报）。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2007-86771号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

然而，根据专利文献1记载的构成，无法提高导电层自身的耐弯曲性。另外，根据专利文献1记载的构成，需要另外设置与导电层不同的应力缓和层，因此零件数量增加，与显示器装置的薄型化的要求相反。

本发明是基于所述情况而成，且其目的在于提供一种耐弯曲性优异的Al合金蒸镀膜。另外，本发明的目的在于提供一种耐弯曲性优异的显示器用配线膜及包括所述显示器用配线膜的显示器装置。另外，本发明的目的在于提供一种能够制造耐弯曲性优异的Al合金蒸镀膜的溅射靶材。

[解决问题的技术手段]

为了解决所述课题而完成的本发明的一个方式的Al合金蒸镀膜含有Al及Al以外的其他金属元素，且进行1万次弯曲试验后的电阻率相对于进行所述弯曲试验前的电阻率之比为1.1以下，并且进行10万次所述弯曲试验后的电阻率相对于进行所述弯曲试验前的电阻率之比为1.3以下。

所述Al合金蒸镀膜含有Al及Al以外的其他金属元素，所述其他金属元素固溶于Al或与Al形成金属间化合物。对于所述Al合金蒸镀膜，由于进行1万次弯曲试验后的电阻率相对于进行所述弯曲试验前的电阻率之比为1.1以下，且进行10万次所述弯曲试验后的电阻率相对于进行所述弯曲试验前的电阻率之比为1.3以下，因此耐弯曲性优异。

所述其他金属元素为Zr或Zn，所述其他金属元素的含量为1.5 atm%以上且6.0atm%以下即可。如此，通过所述其他金属元素为Zr或Zn，且所述其他金属元素的含量在所述范围内，可进一步提高所述Al合金蒸镀膜的耐弯曲性。

作为Al晶粒的平均粒径，优选为20 nm以上且150 nm以下。如此，通过使Al晶粒的平均粒径在所述范围内，可进一步提高所述Al合金蒸镀膜的耐弯曲性。

为了解决所述课题而完成的本发明的另一方式的显示器用配线膜包括所述Al合金蒸镀膜。

所述显示器用配线膜由于包括所述Al合金蒸镀膜，因此耐弯曲性优异。

为了解决所述课题而完成的本发明的另一方式的显示器装置包括所述配线膜。