[发明专利]一种谐振式集成光学陀螺用多功能铌酸锂芯片有效
申请号: | 202110340520.7 | 申请日: | 2021-03-30 |
公开(公告)号: | CN113280802B | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 佘玄;申河良;范文;陈侃;毕然;黄腾超;舒晓武 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01C19/72 | 分类号: | G01C19/72;G02F1/035;G02F1/03;G02F1/00 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 应孔月 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种谐振式集成光学陀螺用多功能铌酸锂芯片。本发明在铌酸锂波导基底上集成入射单元,用于对入射光起偏;相位调制单元,用于对起偏后的光进行调制得到调制光波;第一耦合单元,用于将返回光波耦合进探测器;第二耦合单元,用于对调制光波按一定比例分光;出射单元,用于将分光后的光起偏后输出到后续谐振腔。采用铌酸锂薄膜生长技术优化钛扩散铌酸锂波导的模场分布,减小其与光纤的耦合损耗;采用附加金属层技术实现对输入/输出光偏振态的控制,减小陀螺系统偏振噪声。本发明的芯片集成相位调制、偏振控制与耦合分光功能,体积小,耦合损耗小,偏振控制能力强,有助于提高谐振式集成光学陀螺的灵敏度与稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 谐振 集成 光学 陀螺 多功能 铌酸锂 芯片 | ||
【主权项】:
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