[发明专利]一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法有效
| 申请号： | 202110338512.9 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113049756B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 汪海燕 | 申请（专利权）人： | 铜陵安德科铭电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 244000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片与人工智能系统技术领域，尤其涉及一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法。本发明包括底板，所述底板上表面固定有检测仓，所述底板上表面固定有移出装置，所述移出装置顶部固定有固定装置，所述固定装置内壁夹持有气瓶，所述移出装置一端固定有密封门，所述检测仓顶部固定有顶架，所述顶架中部固定有切换装置，所述检测仓顶部一端固定有检测管，所述检测仓一侧固定有抽真空接头，所述检测仓内壁顶部固定有放气装置。本发明在检测时，气体不泄露，在检测完成后，通过真空泵抽出，防止气体泄漏，可对四种不同的气体进行分析，适应性较高，通过槽轮减速器可使四种气体分析传感器依次切换，且操作较为方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 芯片 智能 制造 微电子 气体 分析 系统 方法 | ||
【主权项】：
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