[发明专利]一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法

权利要求书

1.一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统，包括底板（1），其特征在于，所述底板（1）上表面固定有检测仓（2），所述底板（1）上表面固定有移出装置（3），所述移出装置（3）顶部固定有固定装置（4），所述固定装置（4）内壁夹持有气瓶（5），所述移出装置（3）一端固定有密封门（6），所述检测仓（2）顶部固定有顶架（9），所述顶架（9）中部固定有切换装置（7），所述检测仓（2）顶部一端固定有检测管（10），所述检测仓（2）一侧固定有抽真空接头（11），所述检测仓（2）内壁顶部固定有放气装置（8）；

所述切换装置（7）包括第一伺服电机（71）、槽轮减速器（72）、第一转盘（73）、固定筒（74）、内螺纹套筒（75）、第一螺纹杆（76）、限位块（77）、限位槽（78）、第二伺服电机（79）、第一平齿轮（710）、第一齿轮环（711）、第二转盘（712）和气体分析传感器（713），所述顶架（9）顶部固定有槽轮减速器（72），所述槽轮减速器（72）顶部固定有第一伺服电机（71），所述第一伺服电机（71）的输出端与槽轮减速器（72）的输入端固定连接，所述槽轮减速器（72）的输出端穿过顶架（9）固定有第一转盘（73），所述第一转盘（73）下表面固定有固定筒（74），所述固定筒（74）底部通过轴承转动连接有内螺纹套筒（75），所述内螺纹套筒（75）内壁螺纹连接有第一螺纹杆（76），所述第一螺纹杆（76）顶部对称固定有限位块（77），所述固定筒（74）内壁对称开设有限位槽（78），且限位块（77）与限位槽（78）滑动连接，所述第一转盘（73）下表面固定有第二伺服电机（79），所述第二伺服电机（79）的输出端固定有第一平齿轮（710），所述内螺纹套筒（75）外侧固定有第一齿轮环（711），且第一平齿轮（710）与第一齿轮环（711）啮合连接，所述第一螺纹杆（76）底部固定有第二转盘（712），所述第二转盘（712）外圆等距可拆卸固定有多种气体分析传感器（713），且气体分析传感器（713）与检测管（10）插接；

所述移出装置（3）包括第一固定板（31）、第二螺纹杆（32）、第三伺服电机（33）、滑块（34）和滑板（35），所述底板（1）上表面对称固定有第一固定板（31），两个所述第一固定板（31）中部通过轴承转动连接有第二螺纹杆（32），一个所述第一固定板（31）一侧固定有第三伺服电机（33），且第三伺服电机（33）的输出端与第二螺纹杆（32）固定连接，所述底板（1）上表面滑动连接有滑块（34），所述滑块（34）中部开设有螺纹孔，且滑块（34）通过螺纹孔与第二螺纹杆（32）螺纹连接，所述滑块（34）顶部固定有滑板（35），且密封门（6）与滑板（35）固定连接；

所述固定装置（4）包括夹持筒（41）、隔板（42）、凹槽（43）、T形滑槽（44）、第一转轴（45）、第三转盘（46）、斜槽（47）、夹持块（48）、T形块（49）和拨杆（410），所述滑板（35）上表面固定有夹持筒（41），所述夹持筒（41）内壁下端固定有隔板（42），所述夹持筒（41）内壁等距开设有凹槽（43），所述隔板（42）表面等距开设有T形滑槽（44），且T形滑槽（44）与凹槽（43）连通，所述隔板（42）下表面中部通过轴承转动连接有第一转轴（45），所述第一转轴（45）中部固定有第三转盘（46），所述第三转盘（46）外侧等距开设有斜槽（47），所述凹槽（43）内壁滑动连接有夹持块（48），所述夹持块（48）底部固定有T形块（49），且T形块（49）与T形滑槽（44）滑动连接，所述T形块（49）底部固定有拨杆（410），且拨杆（410）与斜槽（47）滑动连接。