[发明专利]一种非连续基底结构声表面波滤波器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110331118.2 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN112968124A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 吴亮;王琦琨;付丹扬;龚建超;刘欢 | 申请（专利权）人： | 奥趋光电技术（杭州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/187 | 分类号： | H01L41/187;H01L41/316 |
| 代理公司： | 杭州宇信联合知识产权代理有限公司 33401 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市余杭区余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种非连续基底结构声表面波滤波器，包括以下结构：1)衬底层1；2)设置在所述衬底层上压电薄膜层2和其中包含的声阻抗非连续层3；3)设置在所述压电薄膜层上的叉指换能器4。通过本发明的方案，可以在声表面波器件(SAW)传播路径上改变声阻抗条件或者进行周期性设计，对声表面波传播特性进行调制，从而最终实现声表面波滤波器的品质因子(Q值)，带宽以及插入损耗等性能指标的提升。本发明中采用压电薄膜，相比于传统单晶材料，价格更加低廉，并且无论采用剥离，还是刻蚀工艺都很容易制备出非连续声阻抗的空隙空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 基底 结构 表面波 滤波器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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