[发明专利]一种G5一体铝靶材的加工方法有效
| 申请号： | 202110326719.4 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN112935839B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;韩浙栋 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P23/04 | 分类号： | B23P23/04;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种G5一体铝靶材的加工方法，所述加工方法包括依次进行的精铣焊接面、粗铣外形、半精铣溅射面、精铣溅射面、精铣外形以及精铣R角，通过合理安排加工顺序、选择自制刀具、设置合理加工参数、冷却方式，可以使得加工得到的G5一体铝靶材在平面度、平行度以及产品表面粗糙度均可以达到半导体产品的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 g5 一体 铝靶材 加工 方法 | ||
【主权项】：
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