[发明专利]一种G5一体铝靶材的加工方法有效
| 申请号： | 202110326719.4 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN112935839B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;韩浙栋 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P23/04 | 分类号： | B23P23/04;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 g5 一体 铝靶材 加工 方法 | ||
1.一种G5一体铝靶材的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括如下步骤：
(1)精铣焊接面：所述精铣焊接面中的刀具包括80mm盘刀，主轴转速为3000-5000m/s，进给量为1000-5000mm/min，吃刀量为0.1-0.5mm；
(2)粗铣外形：所述粗铣外形中的刀具包括80mm盘刀，主轴转速为3000-5000m/s，进给量为1000-5000mm/min，吃刀量为0.3-0.7mm；
(3)半精铣溅射面：所述半精铣溅射面的刀具包括80mm盘刀，主轴转速为3000-5000m/s，进给量为1000-5000mm/min，吃刀量为0.1-0.5mm；
(4)精铣溅射面：所述精铣溅射面中的刀具包括80mm盘刀，主轴转速为4000-6000m/s，进给量为800-1200mm/min，吃刀量为0.01-0.1mm；
(5)精铣外形：所述精铣外形中的刀具包括D20钨钢铣刀，主轴转速为4000-6000m/s，进给量为800-1200mm/min，吃刀量为0.1-0.5mm，其中，最后一刀的吃刀量为0.05-0.15mm；
(6)精铣R角：所述精铣R角中的刀具包括R3.5外圆刀，主轴转速为3000-5000m/s，进给量为800-1500mm/min，吃刀量为0.1-0.5mm，其中，最后一刀的吃刀量为0.01-0.1mm；
其中，在所述加工方法进行过程中，所述G5一体铝靶材被真空吸盘固定，并采用酒精进行冷却。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110326719.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
